在这个过程中，氧等离子刻蚀和CF4等离子刻蚀有什么区别和联系自由基的主要作用是活化过程中的能量转移。自由基与表面污垢分子结合释放出大量的结合能，作为驱动力，促使表面污垢分子发生新的活化反应，从而导致等离子体活化增加。https://www.jinlaiplasma.com/assets/jinlai