当等离子气体为不能产生聚合物单体分子的气体时，平板显示器等离子除胶设备如空气、氧气、水蒸气、惰性气体、二氧化碳等，其表面性质的不同主要是由于材料表面引入了官能团。当使用更高的功率或等离子体中的高能粒子数量较多时，这些粒子和等离子体中的紫外光与材料表面发生碰撞，从而对材料表面进行蚀刻、交联和表面活化。