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40kHz的自偏压约1000V，13.56MHz的自偏压约250V，20MHz的自偏压低。这三种激励频率系统是不同的。 40kHz 的反应是物理反应 13.56MHz 的反应既是物理反应又是化学反应。在20MHz，有物理反应，但更重要的反应是化学反应。必须使用 13.56 MHz 激活（化学化）和修改材料。 20兆赫。

这是由于在高CO2浓度下，体系内过多的活性氧物种一方面与CH4分子作用生成氧化产物，另一方面与已生成的C2烃产物作用，促使C2H6、C2H4、C2H2转化为氧化产物。CO收率则随CO2浓度增加呈上升状态，并在CO2浓度高于50%时成为恒值。同时，随着体系中CO2浓度由15%增至85%， 产物中H2和CO的摩尔比率由3.5降至0.6。

虽然增加能量密度有利于提高CH4和CO2的转化率，有利于甲烷C-H键(4.5eV)和二氧化碳C-O键(5.45eV)的断裂，但对两者的影响不同。当能量密度低于1500kJ/mol时，相同实验条件下CH4的转化率高于CO2的转化率，说明在较低的能量密度下，体系中高能电子的平均能量较低，大部分电子的能量与甲烷C-H键的平均键能相近但低于二氧化碳C-O键的裂解能，因此CH4的转化率高于CO2。

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