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产品型号：JL-VM05
设备功能：对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去除有机物，去除氧化物，去除微小颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
产品用途：
1、金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PCB等材料表面的清洁、处理，增强亲水性、粘接力。
2、清洁和表面活化，改善表面浸润性。
技术参数：
型 号
JL-VM05
等离子源系统
频 率
13.65MHz 射频
功 率
0-500W （可调）
真空系统
真空腔体
材质
石英
腔体内部尺寸(MM)
D160*260（直径*深度)
腔体容积
5 L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵（选配）
处理温度
＜60°C
流量计
0-500ml/min
气路控制
2路处理气体气路，气体流量可调
真空度
10Pa --100Pa
工艺气体
Ar、N₂，O₂、H₂等等（可选）
控制系统
1、PLC 自动控制；
2、4.3寸触摸屏,图形用户界面；
3、配方程序为 0~99；
4、多级权限操作；
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
6、存储工艺数据及错误信息；
7、报警信息提示及追溯；
8、图形化界面检测处理参数；
9、自动、手动操作可切换；
10、维护提示紧急停止按钮；
11、门感应器和真空互锁；
12、机器运行信号指示；
13、机器运行结束提示；
外观参数
外形尺寸(MM)
750*450*500(宽*高*深）
重 量
55KG
设施配置
电 力
单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
压缩空气
无
其 它
提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.
设备优势：
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
设备订购：
小型真空等离子清洗机 咨询热线：135-3805-8187 电话咨询 （微信同号）
