随着上下放电电极间距从8 mm增大到16 mm,甲烷转化率略有峰值变化,当放电电极间距为14 mm时为30.3%；当放电距离为8 mm时，电晕机陶瓷电极工作原理为22.0%。放电距离在10～16毫米之间的变化对CO2的转化率影响不大。仅在放电距离为8 mm时，CO2转化率为21.8%。

根据电极或器件壁电位与等离子体电位的关系，电晕机陶瓷电极工作原理可分为离子鞘层和电子鞘层。电极附近鞘层：设等离子体电位为Vp，电极电位为Vs。当电极电位Vs与等离子体电位Vp之差均为1时，就会接通外部电路，电极中流过电流，相当于引入一个外部电位作用于等离子体。当VsNe)。随着电场的增大，在离电极一定距离内会形成由离子组成的空间电荷层，即离子鞘层。

等离子体清洗/蚀刻机的装置是将两个电极布置在密封的容器中形成电场，电晕机陶瓷电极距离用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子的自由运动距离越来越长，在电场的作用下，碰撞形成等离子体，这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。

真空等离子体处理原理；等离子体是物质存在的一种状态。通常情况下，电晕机陶瓷电极距离物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在某些特殊情况下，还存在第四种状态，比如地球大气中电离层中的物质。处于等离子体状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。

电晕机陶瓷电极距离

等离子清洗机材料粘接机等离子清洗机材料粘接机原理通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击清洗后的产品表面，达到光刻胶清洗、改性、灰化的目的。等离子清洗机材料粘接机的应用范围：主要针对材料的表面处理，可根据需要实现物理变化和化学响应。

等离子清洗机原理--表面活化与清洗等离子体包括原子、分子、离子、电子、活性基团、激发原子、活化分子和自由基等。

在射频电场作用下，会形成垂直于晶圆方向的自偏压，使离子得到比较大的轰击能量。在电容中在耦合等离子体阶段开始时只有一个射频电源，射频电源的变化会同时影响等离子体密度和离子轰击能量，单频容性耦合等离子体的可控性不尽如人意。多频电容耦合等离子体刻蚀机通过引入多频外接电源，使电容耦合等离子体刻蚀机的性能有了很大的提高。对于多频外加电场，高频电场主要控制等离子体密度，低频电场主要控制离子表面撞击能。

等离子体与物体表面的化学反应可以产生活性化学基团，这些化学基团具有很高的活性，因此可用于广泛的领域，如提高材料表面的粘附能力，提高焊接能力、结合、亲水性等诸多方面。同时，这些特性已完美应用于生物、医疗、手机、LED、半导体、光纤、汽车、零部件制造等行业。不仅提高了产品的质量，而且大大增加了产品的耐久性。。在半导体封装工业中，包括集成电路、分立器件、传感器和光电封装等，通常使用铜引线框架。

电晕机陶瓷电极工作原理

经氩等离子体清洗机处理后，电晕机陶瓷电极距离表面张力将明显提高。活性气体研究所产生的等离子体也能增加表面粗糙度，但氩离子电离后产生的颗粒相对较重，氩离子在电场作用下的动能会显著高于活性气体，因此其粗化效果会更加明显，广泛应用于无机基底的表面粗化过程。如玻璃基板表面处理、金属基板表面处理等。③主动气体辅助在等离子清洗机的活化清洗过程中，常采用工艺气体混合以达到较好的效果。

等离子体中有正负电荷、亚稳态分子和原子。另一方面，电晕机陶瓷电极距离当各种活性颗粒在被清洗物体表面相互接触时，各种活性颗粒会与物体表面杂质的污垢发生反应，形成挥发性气体等物质，从而将挥发性物质抽入真空泵。例如，ROS等离子体氧化材料表面的有机物质。相反，各种活性颗粒会轰击清洁材料表面，使污染在材料表面的杂质随真空泵的气流被吸走。