但不能去除碳和其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。光刻胶的去除过程中常采用电晕清洗。在电晕反应体系中引入少量氧气，电晕处理影响薄膜热封在强电场作用下，氧气产生电晕，使光刻胶迅速氧化为挥发性气体状态，抽走物质。该清洗技术操作方便，效率高，表面清洁，无划痕，有利于保证产品质量。而且它不需要酸、碱和有机溶剂，因此越来越受到人们的重视。。

通常情况下，电晕处理影响薄膜热封物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在某些特殊情况下，还存在第四种状态，比如地球大气中电离层中的物质。处于电晕状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于激发（活性）状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。电晕的机理主要依靠电晕中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。

处于电晕状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，电晕处理影响薄膜热封但物质作为一个整体保持电中性。在真空室内通过射频电源在一定压力下产生高能无序电晕，用等体子体轰击被清洗产品表面，达到清洗的目的。

因此，电晕处理影响薄膜热封电晕表面改性技术已成为新材料科学的前沿领域。碳纤维复合材料以其优异的性能受到越来越多的关注。但复合材料的层间性能容易受到破坏，电晕的出现可以很好地解决这一问题。电晕表面处理在有机材料中的应用1.1表面接触角和表面能的变化物体表面的接触角越小，其润湿性越好。润湿是粘附的必要条件。电晕处理后，由于引入大量含氧基团，表面润湿性明显提高，有利于表面附着力的增强。

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然而，在能量范围很宽的电晕中，电子的激发或电离不是选择性的。在电晕系统中，许多种类的活性粒子会引起许多反响，而在反响的过程中，操纵特别重要和决定性的粒子几乎是不可能的。在电晕环境中，高能粒子可以打破分子的共价键。电子能量色散函数尾部的高能电子和非平衡电晕中强局域电场的参与，很可能完成新的化学反应。电晕环境有利于许多化学反应。

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