通过对比各种低温等离子器件清洗方法的拉曼光谱，氧等离子体清洗仪证明用氧等离子体清洗Kanashima膜可以有效去除金表面的杂质和Kanashima膜的表面增强拉曼活性。 .清洁前后没有明显变化。拉曼光谱可以提供与分子内各种正常振动频率相关的振动能级信息，是研究物质分子结构的有效手段。最大的优点是对样品制备没有特殊要求，样品可以在溶液中测量。表面增强拉曼光谱 (SERS) 是一种结合拉曼光谱和表面增强现象的分析技术。

氧气低温等离子设备等离子清洗的原理是通过基体表面的有机污染物与氧自由基反应生成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性化合物，连云港氧等离子体清洗机并吸收这些挥发性物质。真空泵。通过真空沉积在硅片表面沉积一层金岛膜。岛状膜具有较高的表面增强效果，砷分子增强系数为10。 Kanashima薄膜的表面污染通过氧等离子体清洗去除，光谱测试表明Kanashima薄膜的表面增强性能在清洗前后没有明显变化。

通过真空沉积在硅片表面沉积一层金岛膜。岛状膜具有较高的表面增强效果，连云港氧等离子体清洗机砷分子增强系数为10。 Kanashima薄膜的表面污染通过氧等离子体清洗去除，光谱测试表明Kanashima薄膜的表面增强性能在清洗前后没有明显变化。氧等离子清洗机可以去除真空沉积形成的金岛膜表面的大部分非晶碳杂质。清洁的基板可以更好地保留针对其他分子的 SERS 活性。清洁后，SERS 信号衰减较少。

n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中，氧等离子体清洗仪n11、n2和n3分别表示以下。 n11为C2烃产物中C2H6的摩尔分数，mol/%，n12为C2烃产物中C2H4的摩尔分数，mol/%；n13为C2烃产物中C2H2的摩尔分数，比率为摩尔/%。

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