3.等离子清洗机原理及设备3.1概述：等离子体是由带正电荷的正负粒子（包括正离子、负离子、电子、自由基及各种活性基团等）组成的集合体，平板显示器plasma刻蚀机器其中正负电荷电荷相等，故称等离子体，是除固体、液体、气体外物质存在的第四种状态--等离子体状态。在浩瀚的宇宙中，99%的物质以等离子体状态存在。然而，自然界中的等离子体现象在人类生活的地球上却很少见到。

通过等离子清洗机的表面处理，plasma离子束几天掉痂可以提高材料表面的润湿能力，对各种材料进行涂层和电镀，增强附着力和结合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。利用等离子清洗机对ITO玻璃表面进行清洗是一种有效的清洗方法。液晶玻璃等离子清洗机使用的活化气体是氧等离子体，可以去除油性污垢和有机污染物颗粒，因为氧等离子体可以氧化有机物形成气体。

在一些加工过程中，平板显示器plasma刻蚀机器使用化学物质处理这些塑料表面，会改变橡塑材料的粘接效果。但这种方法不易掌握，化学品本身有毒，操作麻烦，成本高。而且，化学品对橡塑材料原有的优良性能也有影响。这些材料用等离子表面清洗机处理。在高速高能等离子体轰击下，在表层形成一层活性剂，使塑料与塑料得以印刷、粘合、涂布。等离子体表面清洗机用于橡胶和塑料表面层的处理。该工艺操作简单，无有害物质生成，处理效果好，效率高，运行成本低。

在芯片键合前，plasma离子束几天掉痂用O2、Ar、H2混合气体进行数十秒的在线等离子清洗，可以去除器件表面的有机氧化物和金属氧化物，增加材料表面能，促进键合，减少空隙，大大提高键合质量。键合前在线等离子清洗；引线键合是芯片与外部封装之间一种非常常见且有效的连接工艺。据统计，70%以上的产品失效是由键合失效引起的。这是因为焊盘和厚膜导体上的杂质污染是引线键合可焊性和可靠性下降的主要原因。

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等离子表面处理器在手机中的作用；为了让手机外观更加精致高档，手机外壳通常会用胶水粘合或印上品牌LOGO或装饰条。以往手机外壳由ABS组成，表面张力高，一般不需要处理。但随着PC、尼龙+玻璃纤维等材料的广泛使用，基材的表面张力不经处理就无法提高到胶水要求的值。常压等离子体表面处理器通过去除有机污染物，并在表面介入极性有机官能团，提高表面亲水性和表面润湿性，从而提高手机壳表面的附着力。

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