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等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。用等离子清洁剂处理点火线圈骨架后，等离子清洗机深圳不仅表面，而且油也不易挥发，骨架的表面活性可以大大提高。可提高骨架与环氧树脂的粘合强度，防止气泡的产生，同时提高缠绕后漆包线与骨架接触的焊接强度。这样，点火线圈的性能在制造过程的各个方面都有显着提高，提高了可靠性和使用寿命。

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它可以更好地去除人眼看不见的材料表面的有机和无机化合物。激活材料的表面。提高渗透效果，提高材料的表面能、粘附性和亲水性。等离子清洗消除了湿化学中干燥和废水处理的基本过程。与其他干燥工艺如辐射处理、电子束处理、电晕处理相比，深圳等离子清洗设备的独特之处在于对材料的影响。它发生在表面的厚度范围为几十到几千埃，不仅可以改变材料的表面性质，而且可以改变材料的本质性质。

蚀刻气体，主要是 O2，通常用于实现足够高的还原率。在循环蚀刻过程中，SiO2 和 Si3N4 被同时蚀刻并停止在下面的 SiO2 表面。需要一般分为SiO2蚀刻（相对低选择性）步骤和Si3N4蚀刻。这需要对 SiO2 有更高的选择性才能在下面的 SiO2 表面停止。通常，SiO2使用碳氟比相对较低的蚀刻气体如CF4/CHF3蚀刻，而Si3N4蚀刻使用碳氟比高的蚀刻气体如CH2F2。

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