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这些都会导致电路的长期可靠性得不到保证。电晕是由正离子、负离子、自由电子等带电粒子和激发态分子、自由基等不带电中性粒子组成的部分电离气体。因为它的正负电荷总是相等,烟台免电晕处理油墨价格所以叫电晕。一些非聚合无机气体(Ar、N2、O2等)在高频低压下激发产生含有离子、激发分子和自由基的电晕。通过电晕轰击,可以解吸衬底和芯片表面的污染物,有效去除键合区的污染物,提高键合区表面的化学能和润湿性。
电晕作用于材料表面,电晕处理机静电消除机使表面分子的化学键重新结合,形成新的表面特性。对于一些特殊材料,电晕的辉光放电不仅增强了这些材料在超级清洗过程中的附着力、相容性和润湿性。电晕广泛应用于光学、光电子、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。。
处于电晕状态的物质有以下几种:高速运动的电子;处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基);电离原子和分子;未反应的分子、原子等,电晕处理机静电消除机但物质作为一个整体保持电中性。在真空室内通过射频电源在一定压力下产生高能无序电晕,用等体子体轰击被清洗产品表面,达到清洗的目的。
不同电晕的自偏压不同,烟台免电晕处理油墨价格超声电晕的自偏压在0V左右,射频电晕的自偏压在250V左右,微波电晕的自偏压很低,只有几十伏,三种电晕的机理不同。超声电晕的反应是物理反应,射频电晕的反应是物理反应和化学反应,微波电晕的反应是化学反应。超声电晕清洗对被清洗表面影响较大,因此在实际半导体生产应用中多采用射频电晕清洗和微波电晕清洗。
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材料需要活化(化学),改性材料需要用13.56MHz或20 MHz电晕清洗,40kHz的自偏压约为1000伏,13.56MHz的自偏压约为250V,20 MHz的自偏压更低,这三种不同激发速率的体系是不同的。
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