传统的清洗方法，电晕处理数值如机械清洗、水清洗、溶剂清洗等不彻底，处理后的材料表面厚度会残留在几纳米到几十纳米之间，影响器件的焊接和粘接性能。在工业生产中，产品的可靠性要求并不严格，在使用过程中存在一定的清洗残留物，但随着精度和可靠性要求的逐步提高，越来越多的微电子厂商寻求新的表面清洗方法，大气电晕表面处理技术可以实现器件表面的超净彻底清洗，提高产品可靠性，提高产品良率，降低生产成本。

结果表明，电晕处理数值在0.33电容下，放电电晕羽长度为12 mm,产生的频率为10 Hz&μ；F、电阻为1m电极间隙为2毫米，接地极孔径为1.5毫米。生物检测表明，该装置产生的血浆含有丰富的活性物质，可用于血浆生物医学，包括日常消毒、伤口愈合等。。微型精密电机是一种低功率减速器，其输出功率通常为50W，电压为24V，直径尺寸规格在38mm以下。

这些活性粒子可以与表面材料发生反应，电晕处理数值刺激状态分子清洁和活化表面。电晕产生的原理是：将射频电压（频率约为几十兆赫）施加到一组电极上，在交变电场的冲击下，电极间形成高频交变电场区域的气体，产生电晕。活性电晕对被清洗物体表面进行物理轰击和化学反应，使被清洗物体表面物质变成颗粒和气体物质，通过抽真空达到清洗的目的。

其中正电荷总数和负电荷总数在数值上相等，电晕处理数值因此称为电晕。电晕的这一定义既强调了微观层面上电晕的电离性质，又强调了宏观层面上电晕的电中性。作为具有一定电离度的气体，电晕与普通气体的主要区别在于成分和性质。普通气体由电中性分子或原子组成，电晕则是带电粒子和中性粒子的集合体。电晕本质上是导电流体，但在宏观尺度上保持电中性，带电粒子之间存在库仑力，其运动行为会受到磁场的影响或支配。

电晕处理数值

例如在38mN/m的检测中，如果检测笔在2秒内润湿了衬底表面，衬底界面张力大于选定值或刚刚好，则需要选择更大的检测笔进行第二次检测，如类比，直到检测结果在2秒内变成水滴（球形），检测前的数值视为衬底表面能。并用于比较分析。如果第一次测试收缩成水滴（球形），则用较小的测试笔进行第二次测试，直到表面湿润为止。该方法可准确测量界面张力和表面水分力，判断工作前基材表面因素是否符合要求，满足操作需要。

（2）真空泄漏试验。在手动检漏状态下，开启真空泵10min，记录下较低的真空值，然后手动关闭真空电磁阀，同时开启检漏按钮，数值为每分钟3.2Pa/min≤6.0Pa/min，为合格。（3）咬蚀试验:7～14mg/min合格。（4）均匀性试验：75%以上为合格。（5）运行测试：运行24小时，无一例外。。

该机也采用旋转喷涂方式，但配合机械擦洗，有高压、软喷涂等多种可调模式，适用于去离子水清洗工序，包括锯片、晶圆减薄、晶圆抛光、研磨和CVD，尤其适用于抛光后的晶圆清洗。单晶电晕发生器与自动清洗台在应用上没有太大区别。两者的主要区别在于清洗方式和精度要求，以45nm为关键分界点。自动清洗台是多层同时清洗，设备成熟，生产能力高，而单晶清洗设备是逐片清洗，清洗精度高。

主要目的是验证电晕处理设备的均匀性，这是一个比较高的指标。一般国产设备的均匀性并不理想。。常压电晕与真空电晕的区别如下：1.不同的清洗方式常压电晕喷嘴直接注入离子，通过喷嘴的结构间接改变离子（直接面对被处理材料）的运动方向。使大气电晕只能处理装配线上的一个表面。

电晕表面处理与电晕处理区别

微孔膜孔径均匀，电晕表面处理与电晕处理区别透气但不透水，常可用作杀菌滤膜、电解隔膜、气体透析膜、超净滤膜等，还可与织物粘合制作登山服、透气帐篷、雨衣等，那么电晕表面改性处理与PTFE微孔膜有什么关系呢？电晕处理的聚四氟乙烯微孔膜有什么区别？聚四氟乙烯微孔膜由于表面能低，在应用过程中经常面临疏水性和粘附性的问题。如上述问题未解决，可采用电晕进行处理。