用于半导体晶圆清洗工艺的电晕；随着半导体技术的不断发展，电晕处理材料表面的图片对加工工艺的要求越来越高，特别是对半导体芯片和晶圆的工艺性能要求越来越严格，首要因素是晶圆表面的颗粒物和金属材料残留污染会严重影响电子元器件的产品质量和合格率。在目前的集成电路芯片制造中，由于晶圆表面存在沾污问题，仍要消耗50%以上的原材料。在半导体芯片加工工艺中，基本上每道工序都需要清洗，晶圆清洗产品的质量严重影响电子元器件的稳定性。

该喷射电晕流为中性，电晕处理材料表面不带电，可对各种聚合物、金属、半导体、橡胶、PCB线路板等材料进行表面处理；2.电晕器处理后，去除碳化氢污垢，如油脂和辅助添加剂，有利于粘结，性能持久稳定，保留时间长；3.低温，适用于那些表面材料对温度敏感的产品；4.无需箱体，可直接安装在生产线上进行在线操作加工。

电晕作用于材料表面，电晕处理材料表面的图片使表面分子的化学键重新结合，形成新的表面特性。对于一些特殊用途的材料，电晕的辉光放电不仅加强了这些材料的附着力、相容性和润湿性，还能对其进行消毒杀菌。电晕广泛应用于光学、光电子、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体等领域。如果您对电晕技术真空电晕感兴趣或想了解更多详情，请点击我们的在线客服进行咨询，也可直接拨打全国统一服务热线。

薄膜表面电晕处理器的作用和特点不但不降低薄膜固有的物理机械性能，电晕处理材料表面的图片反而提高了其对油墨的润湿性和附着力。。电晕处理材料表面dyne值的提高；电晕处理是一种电击方法，可以使基材表面具有较高的附着力。其原理是利用高频高压对处理后的塑料表面进行电晕放电（高频交流电压高达5000-15000V/m2)，产生低温电晕，塑料表面发生自由基反应，聚合物会发生交联进而表面变得粗糙，增加电晕对极性溶剂的润湿性。

电晕处理材料表面

有时，银浆和其他粘结剂溢出污染粘结填料。如果在热压键合工艺前用电晕清洗去除这些污染物，可以大大提高热压键合质量。此外，由于裸芯片的基板与IC表面的润湿性提高，也提高了LCD-COG模块的结合紧密性，减少了电路腐蚀问题。电晕清洗技术可以去除金属、陶瓷、塑料和玻璃表面的有机污染物，显著改变这些表面的粘附和焊接强度。电离过程易于控制，重复安全。

从污染物来源看，微电子器件表面污染物主要包括外源分子的附着；器件表面与环境接触时自然形成的氧化层有两种。电晕表面处理技术可以有效处理这两类表面污染物，处理过程中首先需要选择合适的工艺气体。氧气和氩气在电子元器件的表面处理中是常见的。

以硅片面板为例，根据测试，采用传统的硅基太阳能制造工艺，不经低温电晕处理生产多晶硅太阳电池的光电转换效率在17%左右，很难突破。结果表明，多晶硅太阳电池经低温电晕设备处理后，峰值功率和光电转换效率平均提高约5%。由此推测，低温电晕处理多晶硅电池表面的方法可以钝化氮化硅表面，去除磷硅玻璃，清洁电池，优化表面绒面革，从而可以提高太阳能电池的产品性能。

分成三种电晕效应：微喷砂处理：离子冲击剥蚀表面化学反应：电离气体与表面紫外辐射反应：紫外辐射分解长链碳化合物。电晕的作用方式也会随着压力、功率、工艺时间、气体流量、气体成分等工艺参数的变化而变化。这样，在单个工艺步骤中可以实现多种效果。

电晕处理材料表面的图片

三是只用氩气，电晕处理材料表面的图片仅用氩气就可以实现表面改性，但效果相对较弱。这是一个特例，是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性解决方案。3.安全易用。常压电晕也是一种低温电晕，不会对材料表面造成损伤。例如，对方阻敏感的ITOFilm材料也可以进行处理。无电弧，无真空室，无排气系统，长期使用不会对操作人员造成身体损伤。手4。区域很广。常压电晕可加工最大宽度为2m的材料，可满足现有大多数工业企业的需求。5.低成本。