真空等离子表面处理机的原理及作用，对于等离子清洗机这个名词，很多人可能会感觉很陌生。等离子清洗机又叫等离子表面处理仪，是一种对气体施加足够的能量使之离子化，成为等离子状态，改变样品表面材料的亲水性，除掉表面有机物，以便于多种材料之间进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作的仪器。等离子清洗机应用十分广泛，从研究开发到工业生产，从表面微细加工到大面积的表面处理改质，等离子清洗机的效果都非常好，应用广泛。那么，等离子清洗机的原理是什么呢？

等离子体是物质的一种存在状态，在通常情况下，物质的存在状态有三种，分别为固态、液态、气态，但在一些特殊的情况下可以出现第四种状态。例如如地球大气中电离层中的物质就是以等离子体存在。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

　　而要使物质变为等离子体一般有以下原理:

　　1、常压下接入气体与能量，使气体压力达到0.2mpa左右，高频高压会产生等离子体。再通过人为制造的等离体子体轰击产品表面需要清洗的表面，以达到清洗目的。

　　2、在一个特定的真空腔体内，使用合适的射频电源产生一定压力，再通过起辉来在短时间产生高能量的等离子体。使用这种无序的等离子体轰击被清洗产品面，就可以以达到清洗目的。