施加足够的能量使气体电离，电晕处理机电极金属丝就变成了电晕状态。电晕的“活性”成分包括：离子、电子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。电晕表面处理仪器就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，达到光刻胶清洗、改性、灰化的目的。

通过适当的工艺条件对材料表层进行处理，电晕处理机电极金属丝明显改变材料表层的形貌，引入多种含氧基团，使表层由非极性、不易粘接变为一定极性、易粘接、亲水性，提高了结合面的表面能，不会对表层造成任何损伤，也不会使表层出现涂层、电镀层剥离。

3）聚合物表面经电晕表面处理器改性后，电晕处理机电极金属丝聚合物表面的化学键被电晕表面处理器熔化破坏，在聚合物表面产生自由基基团，表面自由基基团与电晕技术中的原子或化学基团的连接产生新的聚合物官能团，取代原有的表面聚合物官能团，聚合物表面改性可以改变材料表面的化学性质，但材料的整体性能不会改变。4）聚合物表面涂层：电晕技术涂层是通过工艺气体聚合在材料基体表面产生的薄层电晕技术涂层。

引线键合前：芯片与基板键合后，电晕处理机电极金属丝经高温固化而存在于其上污染物可能包括微粒和氧化物等，这些污染物可能会从物理和化学反应中造成引线与芯片和基板之间的不完全（完全）焊接或粘接不良，导致粘接强度不足。键合前的电晕清洗可以提高键合丝的表面活性，从而提高键合丝的键合强度和拉伸均匀性。

为什么pt薄膜要电晕处理

国际上把电晕分为热电晕和冷电晕。热电晕的电离率接近%，电子和离子的温度相当，属于热平衡电晕。如电晕弧、火箭发动机电晕射流和热核聚变电晕。冷电晕的电离率很低，电子温度远高于离子温度，属于非热平衡电晕。

简单来说，主动式清洗台将多个晶圆一起清洗，优点是设备成熟，生产率高，而单片晶圆清洗设备逐片清洗，优点是清洗精度高，背面、斜面、边缘都可以进行有益清洗，一起防止晶圆之间的穿插污染。45nm之前，主动清洁台可以满足清洁要求，现在仍在使用；而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在工艺节点数量不断减少的情况下，单片清洗设备是未来可预见技术下清洗设备的主流。

有些射流电晕清洗也使用氮气，因为氮气产生的电晕温度比较低。温度是物体冷热的程度，从微观角度看，温度是粒子运动的量度。温度越高，粒子的平均动能越大，反之亦然。在电晕中，粒子的平均能量常被用来直接表征温度。

由于非平衡电晕机中电子的势能分布不同于重粒子，它们处于不平衡状态，可以认为含电子的气体温度远高于含中性粒子和离子的气体。为此，高能电子在碰撞下激发气体分子，或使气体分子分解电离。这个过程中产生的自由基可以分解发射分子。材料在化学作用下可以实现化学转化。利用电晕机的化学效应实现分子分解比单纯依靠电晕机的热效应更有效。在许多情况下，有毒排放物的分子很薄。

电晕处理机电极金属丝