O2——O2 + E (1) O2——2O (2) O2 + E——O2 + E (3) O2 + E——O2 + HV + E (4) O2 + E——2O + E (5 ) ) O2 + E——O + O + + 2E (6) 第一个方程表明氧分子在接受外界能量后变成氧阳离子,平板显示器plasma去胶设备放出一个自由电子过程。第二个方程表示氧分子在接受外部能量后分解形成两个氧原子自由基的过程。
CH4 + E * & MDASH;> CH3 + H + E (3-1) CH3 + E * & MDASH;> CH2 + H + E (3-2) CH2 + E * & MDASH;> CH + H + E (3-3) CH + E * & MDASH;> C + H + E (3-4) CH4 + E * & MDASH;> CH2 + 2H (H2) + E (3-5) CH4 + E * & MDASH;> CH + 3H (H2 + H) + E (3-6) CH4 + E * & MDASH; C + 4H (2H2) + E (3-7) 自由基和下一个产品 A 之间的耦合发生反应。