等离子清洗机常见的故障主要包括以下几种：

1. 真空泄漏：这是等离子清洗机最常见的故障之一，通常由于真空室密封不良或真空泵故障导致。解决方法包括检查密封件是否完好，及时更换损坏的密封件，以及检查真空泵是否正常工作。

2. 电源问题：主要表现为清洗机无法启动或停机。解决方法包括检查电源是否正常，更换损坏的电源，以及检查电缆连接是否松动，重新连接电缆。

3. 气体流量异常：由于气路堵塞或气路漏气导致。解决此问题需检查气路是否畅通，清洗气路或更换堵塞的气路部件；同时检查气路是否漏气，及时更换漏气的气路部件。

4. 真空泵故障：真空泵可能出现倒计时故障，影响其抽空能力。此时需要检查真空泵的抽空能力，排除故障后再按复位键。同时，材料渗漏及真空门不关也可能影响真空泵的抽空能力。

5. CDA压力过低报警：这种报警又称破空气压过低报警，主要由压缩空气的压力不足导致。出现此报警需要检查CDA是否正常供气到设备端，确定供气压力是否过高或过低，以及减压表的报警值设置是否正确。

6. 真空计故障报警：可能由真空表损坏导致，需要检查真空表的控制线路，确定真空表是否发生故障或短路。

7. 急停不能复位或已被按压：此时需检查急停是否被压住，如果没有，需检查急停线。

以上是等离子清洗机常见的几种故障及其解决方法。为确保设备的正常运行，应定期进行维护和检查，及时处理潜在问题。如遇到复杂或难以解决的故障，建议联系专业人员进行维修。