因此,清洁 ITO 玻璃对于 IC BUMP 的连续性非常重要。目前的ITO玻璃清洗工艺大家都在尝试尝试用各种清洁剂清洗(酒精清洗、棉签+柠檬水清洗、超声波清洗)。但是,清洁剂的引入会导致与清洁剂的引入相关的其他问题,因此请考虑新的清洁方法。是各厂商努力的方向。采用等离子清洗原理,通过分步测试来清洗ITO玻璃表面,是一种较为有效的清洗方法。
但常规湿法处理的 SiC 表面存在残留 C 杂质的缺点,且表面易氧化,难以在 SiC 上形成优良的欧姆接触和低界面 MOS 结构,使其适用于半导体元件。有严重的影响。表现。等离子框架处理器增强金属有机物,化学气相沉积系统可以在低温下产生低能离子和高电离、高浓度、高纯度、高纯度的氢等离子体,消除杂质,例如: C 或 OH- 在低温下。