与使用有机溶液的传统湿法洗涤器相比,等离子设备具有以下优点: 1、清洗对象为等离子清洗后立即干燥,无需重新干燥即可送至下道工序。可以提高所有环节的处理效率。 2.无线电范围内的高频辐射不同于激光等直射光。由于方向性差,等离子体可以穿透到物体的孔隙和凹痕中进行清洁工作,因此无需考虑被清洁物体的形状。 3、等离子设备必须保持真空度。通常在 100 Pa 时,这种洗涤条件更有效地实现。
在集成光学中,等离子体可用于沉积具有光路中耦合元件所需的稳定折射率的薄膜。该薄膜的光损失为0.04 dB / cm。等离子体主要用于以下几个方面的材料表面改性: (1) 改变润湿性(也称润湿性)。一些有机化合物表面的润湿性对颜料、油墨、粘合剂等的附着力以及材料表面的闪络电压、表面漏电流等电性能有显着影响。润湿性的量度称为接触角。表 1 显示了不同处理方式对某些材料的接触角的影响。 ② 增加粘合强度。