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在整个过程的控制步骤中，电晕处理是什么意思真空泵的启停是按照相对逻辑的标准进行的。无论是手动控制还是自动控制，假设真空度保持在一定值，单靠蒸汽流量计是不能满足要求的。如果能方便地控制真空泵电机的转速，则真空度很容易控制在设定范围内。

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与等离子清洗机配合使用的气体：等离子清洗机由于其自身的特点，在许多产品的生产中都有用武之地。在等离子清洗机的清洗过程中，需要配合不同的气体，才能达到等离子清洗机理想的清洗效果。按气体划分：使用的气体之一是惰性气体氩（Ar）。在真空室清洗过程中，氩气（Ar）往往能有效去除表面的纳米级污染物。常用于引线键合、芯片键合铜引线框架、PBGA等工艺。如果要增强腐蚀效果，请引入氧气(O2)。

其关键工序是：首先将清洗工件送入真空室固定，真空泵等设备开始抽真空排气至10Pa左右；然后，低温等离子体清洗机清洗所用的混合气体（根据清洗材料不同，选用的混合气体也不同，如O2、H2、Ar、N2等），压力始终保持在100帕左右；真空窒息时在电极片与保护地之间施加高频电压，使混合气体分解，通过辉光放电，它是电离的，通过辉光放电将其电离，进行等离子体；等离子在真空闷死中覆盖被清洗工件后，开始清洗作业，清洗过程持续数十秒至数分钟。

自由基的作用主要是它表现在化学反应过程中能量转移的“激活”，处于激发态的自由基具有更高的能量，因此，当它容易与物体表面的分子结合时，就会形成新的自由基。新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，很可能发生分解反应，在变成更小分子的同时还会生成新的自由基。这一反应过程可能会持续下去，最终分解成水和二氧化碳等简单分子。

等离子表面机是本发明涉及一种“清洁”处理，不消耗水和燃料，不需要添加化学药剂，无其他废气废水，对产品无损伤，可承载生产线连续生产，提高工作效率，节约人力成本。。等离子体表面处理器行业未来发展趋势传统的表面技术随着科技的进步而不断革新。在电弧喷涂方面，发展了高速电弧喷涂，大大提高了喷涂质量。在等离子喷涂方面，发展了射频电感耦合等离子喷涂、反应等离子喷涂、三阴极枪等离子喷涂和微等离子喷涂。

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