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来源: | 作者:金徕等离子处理设备 | 发布时间: 2022-07-09 14:13:35 | 320 次浏览 | 分享到:
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La203/ Y-al2o3催化剂吸附甲基自由基,cob除胶设备促进了C2烃的生成。与La203/ Y-al2o3催化剂不同,Nd2O3/Y-Al203催化剂倾向于吸附含氧自由基,值得注意的是,CeO2/Y-Al203与等离子体表面处理器一起,在CO2氧化CH4生成C2烃类反应中表现出良好的催化活性。这与CeO2/Y-Al203在CH4催化氧化偶联反应中的作用明显不同。

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通过等离子体清洗机的表面处理,可以改善材料的表面的润湿能力,以便各种材料涂层,涂层和其他操作,提高附着力,债券,同时去除水中的有机污染物、石油或greaseSemiconductor包装行业,包括集成电路,离散设备、传感器和光学电子封装、经常使用金属引线框架和改善塑料粘结和密封的可靠性,一般几分钟的金属支架,等离子清洗机处理去除有机物,增加表面的污染物,其可焊性和附着力。

等离子体刻蚀对低钾TDDB的影响主要体现在两个方面:一是等离子体刻蚀造成的低钾损伤;另一个是蚀刻所定义图案的大小和均匀性。低k材料SICOH沉积后,cob除胶机器材料分子的网络结构是稳定的,排列有规律,但蚀刻过程中断了这种结构。所述槽的侧壁形成大量的不完整结构,即缺陷。与此同时,等离子体中的氧离子会钻进多孔的low-K结构中,与其分子结构末端甲基基团中的C结合并带走,导致表面碳消耗,进一步破坏low-K结构。

一般认为,cob除胶设备在等离子体发生器条件下,甲烷产生乙炔通过以下两条途径:当CO2浓度从15%增加到35%时,C2烃产率略有增加。随着CO2浓度的进一步增加,C2烃产率逐渐降低。这是因为在CO2浓度较高的情况下,体系中过量的活性氧一方面与CH4分子反应生成氧化产物,另一方面与生成的C2烃类产物反应,促进C2H6、C2H4、C2H2转化为氧化产物。

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等离子体清洗机在半导体晶圆清洗技术中的应用随着半导体技术的不断发展,对加工工艺的要求越来越高,特别是对半导体晶圆表面质量的要求越来越苛刻,主要原因是颗粒和金属杂质污染表面的晶片将严重影响设备的质量和产量,在目前的集成电路生产,由于waferContamination的表面问题,仍然超过50%的材料。在半导体制造过程中,几乎每一个过程都需要晶圆清洗,晶圆清洗的质量对器件性能有着严重的影响。

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如果增强纤维与基体之间的粘结不好,cob除胶机器应力不能很好地传递,反而会产生应力集中源,从而导致复合材料的力学性能下降。经等离子体处理后,UHMWPE纤维与环氧树脂的粘结强度提高了4倍以上。结果表明:聚乙烯纤维经Ar、N2、CO2等气体等离子体处理后,PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)与聚乙烯纤维的结合增强。其韧性指数和断裂强度,等离子体处理高强度PE纤维可以提高纤维-环氧复合材料的粘结强度。

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