等离子体首先去除工件表面的有机污染层，二氧化硅等离子体去胶其中碳氢化合物（如二氧化碳、水分子）转化为原子或原子团离开工件表面。然后将高分子氨基化合物表面分子注入官能团。该官能团大大提高了聚合物的表面能。一般表面能小于35达因的聚合物经等离子体处理后表面能可达68达因或以上虽然这种表面能的增加并不是永久性的，但经过等离子表面处理后的工件表面能在几天内仍能维持在68达因的水平，这意味着有足够的时间对工件进行喷涂。

自由基的作用在化学反应过程中主要表现为能量转移的“激活”，二氧化硅等离子体除胶机器处于激发态的自由基具有较高的能量，因此，当它容易与物体表面的分子结合时，就会形成新的自由基，新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，很可能会发生分解反应，它变成更小的分子，同时又生成新的自由基，这个反应过程可能会持续下去，最后，它分解成水、二氧化碳等简单分子。

（2）基态的二氧化碳分子吸收能量，二氧化硅等离子体去胶转化为受激的二氧化碳分子。显然，二氧化碳的转化主要依赖于前者。在相同等离子体条件下，纯CH4和纯二氧化碳的转化率分别为10.9%和9%；4%时，CH4和CO2的转化率高于上述值，说明CH4和CO2的共进料有利于CH4和CO2的共活化。。氧等离子体处理对碳纳米管表面功能化的影响；碳纳米管又称巴基纸，直径一般为2～20nm。

自由基的作用主要表现为化学反应过程中能量转移的“激活”，二氧化硅等离子体除胶机器激发态的自由基具有更高的能量，因此，当它容易与物体表面的分子结合时，就会形成新的自由基，新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，很可能会发生分解反应，它变成更小的分子，同时又生成新的自由基，反应过程可能会继续，最终分解成水、二氧化碳等简单分子。

二氧化硅等离子体去胶

二氧化碳转化率的顺序如下：Ni0/Y-Al2O3>TiO2/Y-Al2O3>Co2O3/Y-Al2O3>Na2WO4/Y-Al2O3；Fe2O3/Y-Al2O3>Re2O7/Y-Al2O3&ASYMP；Cr2O3/Y-Al2O3>Mn2O3/Y-Al2O3P；MoO3/Y-Al2O3>ZnO/Y-Al2O3。

高能电子撞击氧分子使其分解，形成被激发态氧原子污染的润滑油和硬脂酸。润滑油和硬脂酸的主要成分是碳氢化合物，它们被活性氧物种氧化生成二氧化碳和水，从而去除玻璃表面的油脂。玻璃手机面板化学增韧前的清洗过程非常复杂。针电极预电离产生的非平衡Ar/O2大气压等离子体射流，清洗工艺简单方便。用接触角仪测定了被润滑油和硬脂酸污染的玻璃面板对水的接触角。等离子射流清洗一段时间后的水连接触角明显减少。

等离子清洗机的特点是能够处理金属、半导体、氧化物以及聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂甚至聚四氟乙烯等大多数高分子材料，而不管需要处理的衬底类型如何。也可以整体、局部、复杂的清洗的结构。等离子清洗机的等离子清洗可以不受处理对象的影响而进行。它可以处理多种材料，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物）都可以用等离子体处理。

制造商在考虑整体质量和设计的同时，不断寻求采用环保制造技术，避免使用含有挥发性有机化合物的系统。等离子体处理在手机行业已经使用多年，可以赋予手机高品质的外观：等离子体能量提供的超精细清洁去除所有颗粒。塑料外壳上较高的表面张力可以显著提高涂料的分散性和附着力，从而可以使用水性涂料。1.可大大降低生产过程中的废品率。2.等离子技术可融入现有涂层生产线3.生产速度提高，成本显著降低。

二氧化硅等离子体除胶机器

等离子体主要是依靠等离子体中的电子、离子、激发态原子、氧自由基等活性离子的（活化）作用，二氧化硅等离子体除胶机器将金属表面带有（有机）污染物的大分子逐级分解，产生稳定易挥发的简单小分子，最终将附着在表面的污垢彻底清除（去除）。此外，金属表面的附着力和润湿性在化学清洗过程中不断提高，这种特性的增强对金属复合材料的进一步表面处理具有表面处理的意义。

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