机柜的框架尺寸为1722x1060x1840。左右两侧为可拆卸门，附着力增进剂5850后侧为对开的两扇门。因此，内部真空室和真空系统的维护非常方便。真空室尺寸为600x600x600，可同时处理9层尺寸为550x550的工件。真空室和真空阀固定在机架内。粗抽泵和罗茨真空泵，与真空泵相连的电磁充电阀，变频器控制真空泵转速进行闭环控制，保持真空室的动态平衡，保证真空室内的真空度在正常工作范围内。

工作气体经由气源释放后，附着力增加和剥离强度降低通过调节气体减压阀降低所需压强后，进入气体质量流量控制器，通过调节气体质量流量控制器参数，调整合适的气体流量，气体随后通入等离子体发生器。由于气体流量对等离子体放电特性有着重要的影响，因此我们需要对工作气体的流量进行精准调控。气体质量流量控制器流量调节范围0~50L，灵敏度0.1L。

另外，附着力增进剂5850伴随着等离子中原子的电离、复合、刺激和跳跃，会形成紫外光，其光子能量也在2~4ev范围内。很显著颗粒和激光在等离子中给予的能量相当高。一、低温在线等离子表面清洗设备手机显示屏的应用近年来，伴随着科学技术的不断发展，Lcd显示屏的等离子表面处理（效）果远高于传统工艺，废品率（降）低了50%。

这有助于提高组件的粘合强度。降低电路板和电导率。键合材料之间的接触电阻。

附着力增进剂5850

根据对IC芯片以及其封运载板进行低温等离子清洗设备处理，不仅仅可以取得超清洁的电焊焊接表层，还能够非常大的程度上改进电焊焊接表层的活性，有效的避免虚焊以及其减小孔洞，提升填充物的边界相对高度和包容性，改进封装形式的拉伸强度，降低因不同的原料的膨胀系数而在界面间产生内要的剪切应力，提高产品稳定性以及其改进使用期限。

由于这些高能量粒子不断的与材料表面碰撞,会造成材料表面的分子链断裂,进一步被氧化成可挥发性物质脱离材料表面,这样就增加了材料的刻蚀率。当喷头高度过高时,喷头流出来的粒子没有受到阻挡,会逸散到周围的空气中,粒子携带的能量流失,对材料的作用微弱,刻蚀率因而降低一。。在实际生产中，常用机械手控制等离子体喷枪开展产品表面处理。常压等离子体表面处理技术主要是运用于车辆、航天、电子器件、家用电器、日用品、包装等行业。

等离子清洗过程涉及许多影响颗粒并直接影响去除效果的复杂物理过程，如等离子的产生和沉积能量的积累。直径为10～2纳米的颗粒分布在硅衬底表面，除极小的纳米颗粒外，大部分颗粒在等离子体的作用下被去除。等离子冲击波对去除微纳米颗粒的影响非常明显。直径大于 0.5 μm 的颗粒被完全去除，但小于该尺寸的颗粒基本去除了原始数量的 50% 左右。

二、影响清洗效果的主要因素1.电极对等离子体清洗效果的影响：电极设计对等离子体清洗效果有显著影响，包括电极材料、布局和尺寸等因素。对于内部电极等离子体清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被某些等离子体刻蚀或溅射，造成不必要的污染和电极尺寸的变化，较小的电极间距可以将等离子体限制在较窄的区域内，从而获得较高密度的等离子体，达到较快的清洗速度。

附着力增加和剥离强度降低

印刷电路板行业等离子清洗机应用；医疗诊断行业等离子清洗机应用：医疗器械行业等离子清洗机应用：弹性体行业等离子清洗机应用，附着力增加和剥离强度降低光学行业等离子清洗机应用：包装行业；汽车制造；纳米技术；精密仪器等。

由上述原理分析和实验数据可知：等离子清洗机可用于液晶玻璃和COG-LCD半成品玻璃装配生产工艺的清洗，附着力增加和剥离强度降低以提高产品质量和稳定性。。