业务咨询：135-3805-8187
0769-8808 7892
产品型号：JL-VM150
设备功能：LED固晶前、焊线前等离子清洗，产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。
产品用途：
1、金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PCB等材料表面的清洁、处理，增强亲水性、粘接力。
2、清洁和表面活化，改善表面浸润性。
技术参数：
型 号
JL-VM150
等离子源系统
频 率
13.56MHz 射频
40KHz 中频
功 率
0~1000W可调
0-5000W可调
选配
真空系统
真空腔体
材质
316L不锈钢、航空铝（选配）
腔体内部尺寸(MM)
500*600*500（宽高深)
极板有效尺寸(MM)
460*450 （宽*深)
极板
17层，水平式，活动可调节
腔体容积
150L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）
真空管路
不锈钢管、不锈钢波纹管
真空计
1×105~1×10-1Pa
质量流量计
＜±1% FS
气路控制
2-4路处理气体气路，气体流量可调
极限真空
5Pa
适用气体
流量范围
0-500SCCM（可调）
工艺气体
Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
外观参数
外形尺寸(MM)
850*1700*1020(宽高深）
重 量
700KG
设施配置
电 力
五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
联系方式：
详情请拨打：135-3805-8187 电话咨询 （微信同号）
