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产品型号:JL-VM30
设备功能:对材料表面进行清洗,活化改性,去除有机物,去除氧化物,去除微小颗粒;提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。
产品用途:
1、金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PCB、PTFE等材料表面的清洁、处理,增强亲水性、粘接力。
2、清洁和表面活化,改善表面浸润性。
技术参数:
型 号
JL-VM030
等离子源系统
频 率
13.56MHz 射频
40KHz 中频
功 率
0~300W可调
0-2000W可调
选配
真空系统
真空腔体
材质
316L不锈钢、航空铝(选配)
腔体内部尺寸(MM)
350*300*300(宽*高*深)
极板有效尺寸(MM)
310*250 (宽*深)
极板
8层,水平式,活动可调节
腔体容积
30L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)
真空管路
不锈钢管、不锈钢波纹管
真空计
1×105~1×10-1Pa
质量流量计
<±1% FS
气路控制
2-4路处理气体气路,气体流量可调
极限真空
5Pa
适用气体
流量范围
0-500SCCM(可调)
工艺气体
Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)
外观参数
外形尺寸(MM)
640*1700*840(宽*高*深)
重 量
280KG
设施配置
电 力
五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
联系方式:
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