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ShenZhen city JinLai Technology Co., Ltd.
深圳市金徕技术有限公司
产品分类
外延片等离子刻蚀机

外延片等离子刻蚀机

产品型号:JL-E30

设备功能:对外延片、晶圆、塑料金属材料进行介质刻蚀硅刻蚀金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。

产品应用:适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗镀膜。


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商品描述

产品型号:JL-E30

设备功能:对外延片、晶圆、塑料金属材料进行介质刻蚀硅刻蚀金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。

产品应用:适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗镀膜。



 

技术参数:


 

JL-E30

等离子源系统

 

13.56MHz  射频

 

0~500W    可调

真空系统

真空腔体

材质

石英、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

400*200*400

腔体容积

30L

极板

1层

密封性

军工级焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

薄膜硅

气体流量计

±1% FS

气路控制

2路处理气体气路气体流量可调

极限真空

3Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

ArN₂O₂H₂等等可选

控制系统

1、PLC 自动控制;

27寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动手动操作可切换

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (宽高深)

 

280KG

设施配置

 

五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

干燥压缩空气CDA。

 

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单。


设备优势:


1、小技巧、操作简单、易维护。

2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。

4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

6、可以根据客户需求定制。


设备订购:


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