等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

功  率

0~300W可调

真空系统

真空腔体

材质

石  英

腔体内部尺寸

Φ250 * Dept.260（直径*深mm)

腔体容积

12 L

处理最大尺寸

8英寸

泵

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

＜±1% FS

气路控制

4路处理气体气路，气体流量可调

极限真空

5Pa

流量范围

0-500SCCM（可调）

工艺气体

Ar、CF4、N₂O₂等等（可选）

控制系统

1、PLC 自动控制；

2、7寸触摸屏,图形用户界面；

3、配方程序为 0~99；

4、多级权限操作；

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；

6、存储工艺数据及错误信息；

7、报警信息提示及追溯；

8、图形化界面检测处理参数；

9、自动、手动操作可切换；

10、维护提示紧急停止按钮；

11、门感应器和真空互锁；

12、机器运行信号指示；

13、机器运行结束提示；

外观参数

外形尺寸(MM)

750*450*500(宽高深）

重    量

55KG

设施配置

电      力

单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

无

其      它

提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.

质保、售后服

务和技术支持

质      保

一年免费的维保和备件免费更换

技术支持

接到设备故障通知1个小时内提供远程技术支持，对远程无法定位解决的问题，提供现场维修服务

培      训

设备正式试用前，提供完整、免费的技术培训