（1）在晶圆制造中的应用在晶圆制造中，电晕和电晕处理机光刻用四氟化碳气体蚀刻硅片，电晕用四氟化碳去除氮化硅蚀刻和光刻胶。电晕可以在晶圆制造中用纯四氟化碳气体或氮化硅中的四氟化碳和氧气去除微米光刻胶。(2)PCB制造应用电晕蚀刻尤其早于电路板制造行业，在硬质电路板和柔性电路板的生产过程中，传统的工艺都是采用化学清洗。

采用射频辉光放电技术的电晕灭菌系统可用于各种生物表面的清洁灭菌。在实验室中，电晕和电晕处理哪个好经惰性气体辉光放电预处理的组织培养基平板表面，组织细胞的吸附性大大提高，细胞种植率提高了一倍，因此电晕处理的基质可靠性也得到提高。在基板表面处理过程中，同时完成基板的杀菌。传统的杀菌消毒效果并不理想，低温电晕杀菌消毒技术可以更好地满足各种现代产品的消毒需求。

关于电晕组成设备及影响因素--电晕中粒子的能量一般在几到几十电子伏特左右，电晕和电晕处理机大于聚合物数据的结合键能（几到十电子伏特），可以完全打破有机大分子的化学键，形成新的键；但远低于高能放射性辐射，高能放射性辐射仅触及数据表面，不影响衬底性能。在非热力学平衡状态下的低温电晕中，电子具有更高的能量，能够打破数据表面分子的化学键，提高粒子的化学反应活性（大于热电晕），中性粒子的温度接近室温。

每种气体在电子跃迁时会发出不同波长的光，电晕和电晕处理机因此，当你看到不同颜色的光时，当然当你把功率提高到一定程度时，看起来就像是白光，因为光子太多，离子是无方向性和不规则的。当反应发生时，离子不断攻击物体表面使其相互碰撞，不同的气体发出不同颜色的辉光，从而导致不同的物理反应。

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电晕清洗剂的表面活化：涂敷表面的亲水性或疏水性，粘接和沉积前的表面预处理电晕表面聚合沉积了具有功能分子基团的聚合物，并将聚合物移植到活化材料表面；通过电晕的表面处理，提高材料表面润湿能力，使各种材料能够进行涂层、电镀等作业，增强附着力和结合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。电晕和蚀刻表面改性电晕清洗设备可根据客户要求处理粘接材料或改变表面特性。

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