采用绿色环保等离子表面处理技术清洗后，平板显示器等离子体蚀刻设备复合涂层达到良好的可涂漆状态，提高了涂层的可靠性，有效避免了涂层剥落、缺陷等问题，涂层符合GB/T9286测试，表面光滑连续，无流痕、气孔等划痕，等离子表面处理后涂层附着力较常规清洗有显着提高，符合工程应用要求，通过1级。等离子表面处理技术该技术适用于汽车工业的发展。根据固体表面与异物键合的理论，如果晶片表面的不饱和键多，则更容易与异物键合。

同时，平板显示器等离子体蚀刻设备随着系统中 CO2 浓度从 15% 增加到 85%，产品中 H2 与 CO 的摩尔比从 3.5 下降到 0.6。上述研究结果表明，在一定的等离子发生器条件下，为了获得较高的C2烃产率和适当的H2/CO比值，需要选择较小的CO2添加量。在实验条件下，该值应在 20% 和 35% 之间。 C2烃的分布随着体系中CO2浓度的增加而减少，但C2H6和C2H4的摩尔分数呈上升趋势。

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