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(C, H, O, N) + (O + OF + CO + COF + F + E ...) & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR; + NO2 + ... 化学：HF + SI & RARR;SIF+H2HF+SIOSIF+H2O在等离子体化学反应中起化学作用的粒子主要是阳离子和自由基粒子。

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