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等离子清洗设备的保养-深圳金徕
来源: | 作者:深圳金徕 | 发布时间: 2021-05-18 | 1705 次浏览 | 分享到:

等离子清洗设备的保养

俗话说，工欲善其事，必先利其器，一个好的工具往往能让工作事半功倍。又说：功夫再高也怕菜刀，机器再好也要保养。所以下面就为大家分享一些常见的保养事宜：

1、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。

2、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。

其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。

3、检查输气管道的完整性及真空密封性.

定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。检查各管路是否连接紧固，老化等问题。

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