等离子清洗机常见的加工工艺气体有co2、氩气、N2、氡气、四氟化碳等。它是将气体弱电解质造成等离子体对产品工件开展表面解决,不论是开展清理還是表面活性,为达到最好的解决实际效果会采用不一样的加工工艺气体,那麼等离子清洗机的常见加工工艺气体又该如何选择呢?
1、co2
co2是等离子清洗常见的活性气体,归属于物理学+有机化学的处理方法,弱电解质后造成的正离子体可以对表面开展物理学负电子,产生不光滑表面。另外高活性的氧离子可以与被断键后的分子结构链产生化学变化产生活性官能团的亲水性表面,做到表面活性的目地;被断键后的有机化学空气污染物的原素会与高活性的氧离子产生化学变化,产生CO、CO2、H2O等分子式摆脱表面,做到表面清理的目地。
co2关键运用于纤维材料表面活性及有机化学空气污染物除去,但不适感用以易空气氧化的金属材料表面。真空泵等离子情况下的氧等离子展现浅蓝色,一部分充放电标准下相近乳白色。充放电自然环境光源较为亮,人眼观查时很有可能会出現看不见真内腔身体有充放电的状况。
2、氩气
氩气是一种可塑性气体,弱电解质后造成的正离子体不容易与板材产生化学变化,在等离子清洗中关键被运用于板材表面的物理学清理及表面钝化处理,较大的特性便是在表面清理中不容易导致高精密电子元器件的表面空气氧化。正是如此,氩等离子清洗机在半导体材料、微电子技术、晶圆制造等制造行业被广泛运用。
氩气在真空泵等离子清洗机中被弱电解质所造成的等离子体呈深红色。在同样的充放电自然环境下,氡气和N2所造成的等离子体色调全是呈鲜红色,但氩等离子体的色度会小于N2且高过氡气,還是比较好区别的。
3、氡气
氡气与co2相近,归属于高活性气体,能够 对表面开展活性及清理。氡气与co2的差别主要是反映后产生的活性官能团不一样,另外氡气具备氧化性,可用以金属材料表面的外部经济空气氧化层除去且不容易对表面比较敏感有机化学层导致毁坏。因此 在微电子技术、半导体材料及pcb线路板生产制造制造行业应用范围广。
因氡气为危险因素气体,未被弱电解质时与co2汇聚会产生自暴,因此 在等离子清洗机中一般是严禁二种气体混和应用的。真空泵等离子情况下氢等离子呈鲜红色,与氩等离子相近,要同样的充放电自然环境下比氩等离子色调略深。
4、N2
N2弱电解质产生的等离子体可以与一部分分子式产生键合反映,因此 也是一种活性气体,但相对性于co2和氡气来讲,其颗粒较为重,一般状况下到等离子清洗机运用时会把此气体定义在活性气体co2、氡气与可塑性气体氩气中间的一种气体。在清理活性的另外可以做到一定负电子、离子注入的实际效果,另外可以避免 一部分金属材料表面出現空气氧化。N2与别的气体组成产生的等离子体一般会被运用于一些材料的解决。真空泵等离子情况下氮等离子也是呈鲜红色,在同样的充放电自然环境下,氮等离子会比氩等离子和氢等离子更亮一些。
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