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等离子清洗机清洗原理-深圳金徕
来源: | 作者:深圳金徕 | 发布时间: 2021-06-18 | 1352 次浏览 | 分享到:
等离子清洗机清洗原理

通过化学或物理作用对工件表面进行处理，实现分子水平的污染物去除（一般厚度为几个～几十个纳米），从而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺，根据选择的工艺气体不同，等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。

1、化学清洗:
表面作用以化学反应为主的等离子体清洗，又称 PE。
氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面
氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O 和 CO2

2、物理清洗：
表面作用以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。
Ar＋在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表面能活化。

3、物理化学清洗：
表面作用中物理反应与化学反应均起重要作用。

等离子清洗的作用原理主要是：
（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（2）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（3）形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
上述所讲解的就是等离子清洗机清洗原理，希望看完能够对您有所帮助，如果您想要了解更多关于等离子清洗机的相关信息，欢迎继续浏览深圳金徕网站！