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外延片等离子体清洗设备

等离子体作为物质的第四种状态，具有简单、高效、环保的特点，可广泛应用于各种材料中。污垢表面的残留物，特别是经过机械和湿化学清洗后，通常是有机物。许多溶剂不能完全去除油脂、脱模剂、硅酮。如果这些物质留在表面，它们会干扰所有后续的加工步骤，特别是粘合和涂层。这些物质大部分可以通过氧等离子体去除，也可以通过空气等离子体去除。低温氧等离子体处理不仅可以提高表面亲水性，还可以提高表面电导率和材料附着力。

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该报告强调等离子体的非冷凝系统性质，不包括纯固态和液态。因此，等离子体是宏观层面上电中性的电离气体，是由电子、离子、自由基和各种活性基团组成的粒子集合。其中正电荷总数和负电荷总数在数值上相等，所以称为等离子体。等离子体的定义不仅强调了等离子体在微观层面上的电离特性，而且强调了等离子体在宏观层面上的电中性。作为具有一定电离度的气体等离子体，它与普通气体的主要区别在于其组成和性质。

低温等离子体废气处理设备是使用电子,各种离子、原子和自由基等活性等离子体和排气污染物的影响,有效的净化,没有添加任何材料,适应性强的特点,低能耗,节能,安全可靠,废料分子在很短的时间内攻击，与攻击的后续反应意图与废气分化。低温等离子体是材料继固体、液体和气体之后的第四种状态。当施加的电压达到气体的点火电压时，气体被击穿，混合物包括电子、各种离子、原子和自由基。

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