等离子体技术自20世纪60年代以来已应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域。近年来，铁氟龙等离子体刻蚀等离子体聚合、等离子体刻蚀、等离子体灰化和等离子体阳极氧化等技术在大规模或超大规模集成电路的干低温工艺中得到了发展和应用。等离子体清洗技术也是干法工艺的进步成果之一。

试想，铁氟龙等离子体刻蚀用棍子扫地，不用扫帚扫地，不能用棍子扫地，当单光束打孔激光旋转打孔时，孔内“上铜+中PI+下铜”会掉下来，残胶或残PI（包括改性PI）会粘附在孔壁或孔内。这种残留物必须在微蚀刻工艺前用等离子清洗工艺去除，否则会堵塞复盖在微蚀刻液下的铜碳合金蚀刻残留物。总之，在单束激光无骨铜箔打孔中，必须采用等离子清洗工艺和微刻蚀工艺去除残留的PI和Cu-C合金。

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表面改性与涂层工艺模拟与性能预测的现状与发展趋势表面改性与涂装技术作为表面工程的重要组成部分，已经渗透到传统工业和高新技术产业中，反过来推动表面功能涂装技术根据应用需求进一步发展。根据使用要求进行了材料表面设计，分析了表面性能参数；对其进行量身定制以满足特定要求，进一步实现表面涂层的组织、性能及预测，已成为该领域的重要研究方向。国外已开展CVD、PVD等表面改性方法的计算机模拟。

表面可以原子级粗糙化，提供更多的表面结合位置，提高附着力。同时，等离子体中的活性原子改变化学性质，在基体材料表面形成强化学键。d.激活（化学）：改善细胞和生物材料与临床诊断平台的粘附；E.氨化作用：氨化作用为高分子材料提供结合生物和传感器分子的结合点：其他作用：提高生物活性分子对细胞培养平台的选择性粘附。

恶臭、异味去除率高，说明90%以上的污染物实际上已经被分解，因为分解后的物质也有一部分有异味。9.等离子体废气处理技术不是水洗技术，而是高能等离子体直接击穿轰击污染物，使分子链断裂，而不是污染物的转移。。等离子体处理设备废气处理工艺原理等离子体废气处理原理；利用高压发生器产生并形成低温等离子体。

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