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低温等离子体废气处理的缺点；1.处理部分易燃易爆废气有危险；2.设备部件的配置设计、制造精度和严密性要求很高；3.滤料使用一年后一般呈酸性，日光蚀刻法原理图应按期维护保养；一次性投入略高。使用低温等离子体废气处理设备时的注意事项：要保护好净化器电控电源，防止雨水、日光损坏电控电源而发生事故；内部治疗室严禁粉尘进入，检查内部零件是否牢固。。

正如我们前面提到的，日光蚀刻法原理图任何人都应该能够足以理解PCB原理图，但通过看原型机来理解其功能并不容易。一旦两个阶段都完成了，您对PCB的性能感到满意，您需要通过制造商来实现它。PCB原理图元件大致了解了两者之间的区别后，让我们仔细看看PCB原理图的元素。

日光蚀刻法原理图

此外，由于蚀刻和侧壁吸附保护步骤同时执行，特征图案的侧壁将变得相当光滑。这种同时进行的蚀刻和保护步骤也将加快蚀刻过程。因此，这种利用等离子体表面处理器SF6/O2在超低温下连续等离子体刻蚀硅衬底的工艺被称为标准超低温工艺。精确控制含有SiOxFy无机副产物的保护层形成图案侧壁将是标准超低温刻蚀工艺中的关键一步。

芳纶材料是芳纶复合材料的一种。这种新型材料因其密度低、强度高、韧性好、耐高温、易加工成型等特点而倍受重视。凯夫拉尔材料坚韧耐磨，刚柔并济，具有刀子抓不住的特殊能力，在军事上被称为“装甲卫士”。凯夫拉成型后，需要与其他部位粘接，但这种材料疏水，不易粘接。为了获得良好的粘接效果，需要对其进行表面处理。目前主要采用等离子体对其表面进行活化。处理后的芳纶表面活性增强，粘接效果明显改善。

这类装置的关键部件通常被称为等离子体炬，其等离子体中心温度高达数千度，是热等离子体。近年来，为了提高对有机材料的粘附性能，如橡胶表面处理，等离子体炬工艺向低温化、小型化发展，变热弧为冷弧，研制出喷涂低温等离子体的真空等离子体设备。

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